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            電子級超純臭氧氣體發(fā)生器

            采用高濃度、超純凈、深度精細工藝的臭氧實(shí)現技術(shù)是該發(fā)生器實(shí)現的基礎。臭氧被電子工業(yè)用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長(cháng)、光刻膠去除和多種清潔應用。
            GTC發(fā)生器能夠產(chǎn)生高濃度、大量流量、高壓力的超潔凈臭氧,整體模塊化,結構緊湊,簡(jiǎn)潔、可視化外觀(guān)。

            • 詢(xún)價(jià)
            • 問(wèn)專(zhuān)家

            產(chǎn)品特點(diǎn)

            臭氧濃度高

            臭氧輸出壓力高

            氣體流量高

            采用超純臭氧發(fā)生技術(shù)

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              協(xié)同您對臭氧發(fā)生系統中

              相關(guān)設備進(jìn)行升級改造

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