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            臭氧氣體輸送系統

            臭氧氣體輸送系統,可產(chǎn)生超純、可靠的臭氧氣體。在清潔的半導體環(huán)境中,借助臭氧氣體反應實(shí)現原子層沉積 (ALD) 和蝕刻 (ALE) 等薄膜沉積工藝。高純度、高濃度臭氧氣體能夠產(chǎn)生更高的薄膜密度,從而提高產(chǎn)品產(chǎn)量、產(chǎn)品性能和可靠性。

            • 詢(xún)價(jià)
            • 問(wèn)專(zhuān)家

            產(chǎn)品特點(diǎn)

            臭氧濃度高

            氣體流量高

            采用超純發(fā)生技術(shù)

            無(wú)氮氣摻加技術(shù)

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              協(xié)同您對臭氧發(fā)生系統中

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